一种换热装置及单晶炉
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型提供了一种换热装置及单晶炉,涉及单晶硅制造技术领域。换热装置包括:内壁和外壁,其中,所述内壁靠近所述换热装置的中心轴线;所述内壁和所述外壁共同形成供冷却介质流动的腔体;所述内壁上设置有带内腔的至少一个凸起结构;所述凸起结构的凸起方向朝向所述中心轴线;所述凸起结构的内腔与所述内壁和所述外壁形成的腔体连通。凸起结构的凸起方向朝向晶棒,凸起结构的内腔与内壁和外壁形成的腔体连通,增大了换热面积,且减小了冷却介质与晶棒之间的水平距离,增加了拉晶过程中的纵向温度梯度,提高了拉晶速度,节省了拉晶时间。

基本信息
专利标题 :
一种换热装置及单晶炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021029147.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-05
授权号 :
CN212925224U
授权日 :
2021-04-09
发明人 :
丁彪邓浩马少林付泽华马宝王建波
申请人 :
隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市长安区航天中路388号
代理机构 :
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 :
赵娟
优先权 :
CN202021029147.0
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00  C30B29/06  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2022-06-14 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C30B 15/00
登记生效日 : 20220601
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 隆基绿能科技股份有限公司
变更后权利人 : 腾冲隆基硅材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 710100 陕西省西安市长安区航天中路388号
变更后权利人 : 678014 云南省保山市腾冲市腾越镇上绮罗社区栗树园小区114号
2021-04-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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