一种真空镀膜翻转工装
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摘要

本实用新型涉及工装夹具技术领域,具体而言,涉及一种真空镀膜翻转工装,包括夹持半径可调的夹具、用于支撑所述夹具的支撑架和用于翻转所述夹具的翻转机构;所述夹具的两端分别通过转轴与所述支撑架转动连接;所述翻转机构包括齿轮和调节板,所述齿轮与一所述转轴同轴连接,所述调节板设有条形齿,所述条形齿与所述齿轮啮合,以带动所述齿轮转动。在本实用新型中,该翻转工装包括夹具,在该夹具上设置有翻转机构,该翻转机构包括齿轮和调节板,齿轮与转轴同轴连接,调节板设有条形齿,通过条形齿与齿轮的啮合,用于带动齿轮转动,进而带动夹具翻转以实现基底的翻转,方便对基底的多面进行镀膜。

基本信息
专利标题 :
一种真空镀膜翻转工装
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021162634.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-20
授权号 :
CN212834008U
授权日 :
2021-03-30
发明人 :
白秋云
申请人 :
成都超纯应用材料有限责任公司
申请人地址 :
四川省成都市双流区西航港空港二路1166号
代理机构 :
成都睿道专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
潘育敏
优先权 :
CN202021162634.4
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  C23C16/458  
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IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-03-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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