一种用于真空镀膜的挂载工装
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于真空镀膜的挂载工装；其特征在于：包括设置在转盘上的底板、围绕溅射装置设置的立柱、围绕所述立柱设置的顶板、设置在相邻所述立柱之间的挂架和挂置产品的挂件；所述立柱设置在所述底板上；所述顶板设置在所述立柱上远离所述底板的一端；所述挂件并列设置在所述挂架上。解决了现有方案造成的产品进行真空镀膜时产品会产生晃动严重影响产品的真空镀膜质量和挂架为一体式拆装较为困难等问题。
基本信息
专利标题 ：
一种用于真空镀膜的挂载工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020960297.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-29
授权号 ：
CN212505049U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
郑亮李鸿飞
申请人 ：
江苏特丽亮镀膜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区胡埭工业园南区胡埭路3号
代理机构 ：
无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张悦
优先权 ：
CN202020960297.7
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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