一种用于冷撵模具的真空镀膜旋转工装结构
授权
摘要

本实用新型公开了一种用于冷撵模具的真空镀膜旋转工装结构,包括底盘、设于底盘正上方的顶盘、用于连接底盘与顶盘的支撑柱及以支撑柱为轴心周向设置的若干自转组件,所述自转组件连接于两端的底盘与顶盘,所述自转组件可随着底盘公转的同时进行自转,所述自转组件包括周向限位设于底盘与顶盘内端的法兰及周向设于法兰上的若干端部轴套,对应的端部轴套之间安装有若干冷撵模具,轴向相邻的冷撵模具之间通过中间轴套连接且所述中间轴套内部设有对冷撵模具轴向限位的台阶,通过上述设置,能实现对冷撵模具的紧凑安装与高效真空镀膜。

基本信息
专利标题 :
一种用于冷撵模具的真空镀膜旋转工装结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921930745.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-11
授权号 :
CN211227324U
授权日 :
2020-08-11
发明人 :
马洋江彬彬宋辉
申请人 :
绍兴云涂科技有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市新昌县新昌大道东路881号1幢
代理机构 :
绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
丁建清
优先权 :
CN201921930745.2
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  C23C14/04  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-08-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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