一种具有旋转结构的真空镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有旋转结构的真空镀膜机，包括空心轴和气泵，所述空心轴的内部设置有电动机，且电动机的下端设置有主动轮，所述主动轮的下端设置有工作台，所述液压泵的下端设置有底座，所述气泵的下端设置有顶盖，所述顶盖的左右两端下方分别设置有移门和箱体，所述顶盖的内部设置有通气管，所述靶材载体的下端设置有加热箱，所述限位架的下端设置有分层板，所述流通管的下端设置有弹簧，所述载物台的下端设置有从动轮。该具有旋转结构的真空镀膜机，与现有的普通真空镀膜机相比，本装置可以根据基片的体积大小调节镀膜空间，在保持应有镀膜空间的情况下，减小的不需要的镀膜空间，适用性高，减少了靶材的消耗，降低了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种具有旋转结构的真空镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020283082.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-10
授权号 ：
CN211848124U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
韩学松
申请人 ：
宿迁市晶泰电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省宿迁市沭阳县刘集镇北工业园区
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
尚欣
优先权 ：
CN202020283082.6
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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