一种真空镀膜旋转装置
著录事项变更
摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种真空镀膜旋转装置;一种真空镀膜旋转装置,其包括工件转台、定位件和传动件,工件转台通过定位件设置于传动件顶部,工件转台包括连接件和载物单元,其还包括联动组件,联动组件包括:底座,底座指向工件转台的一端面上开设有凹槽;以及连杆,连杆垂直贯穿连接件滑动设置于连接件内,其位于载物单元的一侧,且其底部与凹槽抵触设置,该连杆底部沿凹槽的环形轨迹滑动同时带动放置区转动;本实用新型通过工件转台转动的同时,连杆在凹槽内滑动作上下滑动,同时带动放置区转动,放置区不仅能跟随工件转台转动,同时还能够在载物单元上转动,使得镀膜充分,提高镀膜效果。

基本信息
专利标题 :
一种真空镀膜旋转装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921172847.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-24
授权号 :
CN210711723U
授权日 :
2020-06-09
发明人 :
王晖
申请人 :
浙江法德装备科技有限公司
申请人地址 :
浙江省湖州市长兴县画溪街道城南路12-3
代理机构 :
湖州长兴西木子知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
韩燕燕
优先权 :
CN201921172847.2
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  C23C16/458  
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IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-08-20 :
著录事项变更
IPC(主分类) : C23C 14/50
变更事项 : 发明人
变更前 : 王晖
变更后 : 王叔晖
2020-06-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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