一种真空镀膜机的旋转密封结构
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摘要
为了解决PVD真空镀膜机在工作的过程中高温和电子对磁流体密封性能的影响，本实用新型提出一种真空镀膜机的旋转密封结构，其包括：PVD真空镀膜机外壳1、磁流体密封2和气缸3，PVD真空镀膜机外壳1的内部包括两个腔室，分别为第一腔室11和第二腔室12，可旋转门13的下部转轴131固定在PVD真空镀膜机的底部，可旋转门13的上部转轴132穿过PVD真空镀膜机的顶部，其特征在于：还包括聚氟四乙烯垫圈4，聚氟四乙烯垫圈4的中心设有一个开孔，上部转轴132可以穿过聚氟四乙烯垫圈4的中心，磁流体密封2的主体外壳的下表面与聚氟四乙烯垫圈4的上表面贴合，磁流体密封2的传动轴21穿过聚氟四乙烯垫圈4的中心并与上部转轴132固定连接。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机的旋转密封结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922265769.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-16
授权号 ：
CN211449632U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
吴伟亮汪毅邓永琪梁海洋
申请人 ：
苏州星蓝纳米技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区亭南路70号
代理机构 ：
江苏昆成律师事务所
代理人 ：
刘尚轲
优先权 ：
CN201922265769.7
主分类号 ：
F16J15/10
IPC分类号 ：
F16J15/10 F16J15/43 C23C14/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J
活塞；缸；一般压力容器；密封
F16J15/00
密封
F16J15/02
在相对固定的面之间
F16J15/06
带有压紧在密封面之间的固体填料
F16J15/10
带有非金属填料
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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