一种具有清洗结构的真空镀膜装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种具有清洗结构的真空镀膜装置,包括底座、真空镀膜仪器、连接仓、铰链、固定板、密封垫、伺服电机、转动杆、齿轮、连接杆、定位弹簧、固定凸块、放置杆、清洗仓、水管、水泵和水箱,所述底座的左侧设置有真空镀膜仪器,且底座的上端设置有连接仓,所述连接仓的右侧设置有铰链,且铰链的右侧设置有固定板,所述底座的内部设置有伺服电机,且伺服电机的输出端连接有转动杆,所述转动杆的左侧设置有齿轮,且齿轮的上端设置有连接杆。该具有清洗结构的真空镀膜装置通过设置的伺服电机能够自动带动转动杆进行转动,从而能够使得工件镀膜的更加均匀,并且设置的齿轮能够带动连接杆进行转动,从而能够使得装置的工作效率增加用。

基本信息
专利标题 :
一种具有清洗结构的真空镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021380660.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-14
授权号 :
CN213061008U
授权日 :
2021-04-27
发明人 :
陈志阳
申请人 :
佛山市百思特电子材料有限公司
申请人地址 :
广东省佛山市顺德区大良街道办事处五沙社区居民委员会顺园西路2号之二
代理机构 :
上海智力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
周涛
优先权 :
CN202021380660.4
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50  C23C14/56  B08B9/08  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-04-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN213061008U.PDF
PDF下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332