一种具有角度调节机构的真空镀膜装置
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其为一种具有角度调节机构的真空镀膜装置,包括镀膜室,所述镀膜室底部两侧固定连接有固定座,所述镀膜室底部中央固定连接有电机,所述镀膜室左侧固定连接有抽气管道,所述抽气管道外侧套设有加热装置,所述抽气管道左侧固定连接有抽真空装置,所述电机主轴末端固定连接有转杆,所述转杆上方转动连接有镀膜室,所述转杆上设有固定盒,所述固定盒内底部固定连接有锥齿轮,所述锥齿轮上方啮合有齿轮,所述齿轮中央固定连接有横杆,所述横杆上设有夹持架,本实用新型中,通过设置的抽真空装置和加热装置,通过加热装置加热将热量传递给抽气管道,使抽真空的过程中所排出水汽不会冷冻抽真空装置的进气出气口。
基本信息
专利标题 :
一种具有角度调节机构的真空镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021958619.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-09
授权号 :
CN212955334U
授权日 :
2021-04-13
发明人 :
王振东
申请人 :
沈阳镨和真空电子设备有限公司
申请人地址 :
辽宁省沈阳市沈北新区蒲河路83号
代理机构 :
沈阳天之冠专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
石运芹
优先权 :
CN202021958619.0
主分类号 :
C23C14/54
IPC分类号 :
C23C14/54 C23C14/50 C23C14/56
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2021-04-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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