一种快速清洗的真空镀膜设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种快速清洗的真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域，包括主箱体，所述主箱体的顶端安装有真空泵，所述主箱体的一侧连接有第一连接轴，所述第一连接轴的一侧连接有第一副箱的正面设置有第一密封圈，所述第一副箱的正面设置有正极磁铁，所述第一副箱的内部连接有固定杆。本实用新型通过设置正极磁铁、负极磁铁、第一密封圈与第二密封圈，先将第一副箱内部的挂钩放入上镀件，通过人工推动第一副箱，将第一副箱与主箱体进行闭合，通过正极磁铁与负极磁铁进行固定，通过第一密封圈与第二密封圈将第一副箱与主箱体进行密封，减少第一副箱与主箱体之间的摩擦力，防止外界灰尘进入，增加第一副箱与主箱体之间的密封性。

基本信息

专利标题：

一种快速清洗的真空镀膜设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022095123.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-22

授权号：

CN213113498U

授权日：

2021-05-04

发明人：

康宗海

申请人：

深圳市荣凯光电科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙华区观湖街道新田社区创新工业园17号D栋厂房101一楼，二楼B区

代理机构：

深圳市中科创为专利代理有限公司

代理人：

谭雪婷

优先权：

CN202022095123.1

主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

C23C14/56