一种快速清洗的真空镀膜设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种快速清洗的真空镀膜设备，涉及真空镀膜设备技术领域，包括镀膜箱体以及清洗组件，所述清洗组件包括储液箱、输液部件以及洗刷部件，储液箱顶部设置加液口，储液箱与镀膜箱体固定连接，所述输液部件一端与储液箱连接，另一端与洗刷部件连接；所述洗刷部件安装在镀膜箱体内，用于将储液箱内的清洗液喷洒至镀膜箱体内，所述转动部件带动转动套筒转动，所述转动套筒通过搅拌套筒带动刮板在镀膜箱体内转动，所述刮板对镀膜箱体内壁进行清洁，所述输液部件将储液箱内的液体输送至转动套筒以及搅拌套筒，所述喷孔将搅拌套筒内的清洗液喷洒至镀膜箱体内，进而实现对镀膜箱体内的清洗。
基本信息
专利标题 ：
一种快速清洗的真空镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122093480.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-01
授权号 ：
CN216155950U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
杨林生
申请人 ：
合肥聚盛真空科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区紫云路北，桃源路西方兴园8幢405室
代理机构 ：
合肥三川专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
潘光亮
优先权 ：
CN202122093480.9
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 B08B9/087 B08B9/093 B08B13/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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