一种单热源“T”字型微机械三轴薄膜陀螺
授权
摘要
本实用新型公开了一种单热源“T”字型微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
基本信息
专利标题 ：
一种单热源“T”字型微机械三轴薄膜陀螺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021188943.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-24
授权号 ：
CN212082389U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
王育新朴林华朴然李美樱王灯山
申请人 ：
北京信息科技大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清河小营东路12号
代理机构 ：
北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张宇锋
优先权 ：
CN202021188943.9
主分类号 ：
G01C19/58
IPC分类号 ：
G01C19/58
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/58
不带有运动部件的转动敏感装置
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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