一种单热源十字流式微机械三轴薄膜陀螺
授权
摘要
本实用新型公开了一种单热源十字流式微机械三轴薄膜陀螺,包括敏感层和盖板,敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四根加热器和六对热敏电阻,敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽;一根加热器、一对Z轴热敏电阻和一根X/Y轴热敏电阻构成一个测量单元;四根加热器的通电方式为周期方波式通电;盖板上刻蚀有凹槽,且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺,形成“十”字型分布的对流式的热流,这种对流式热流流速大、气流状态稳定,陀螺灵敏度高,稳定性好,可实现空间三轴角速度的同时测量,具有很高的集成度。
基本信息
专利标题 :
一种单热源十字流式微机械三轴薄膜陀螺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021188138.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-24
授权号 :
CN212082384U
授权日 :
2020-12-04
发明人 :
李备朴林华朴然李美樱王灯山
申请人 :
北京信息科技大学
申请人地址 :
北京市海淀区清河小营东路12号
代理机构 :
北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张宇锋
优先权 :
CN202021188138.6
主分类号 :
G01C19/58
IPC分类号 :
G01C19/58
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/58
不带有运动部件的转动敏感装置
法律状态
2020-12-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载