一种单热源十字流式微机械双轴薄膜陀螺
授权
摘要
本实用新型公开了一种单热源十字流式微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的两对加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一根加热器和一根热敏电阻构成一个测量单元；四根加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的对流式的震荡热流，热流末端为矩形的隔离电阻。这种十字流式的热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间双轴角速度的同时测量，具有很高的集成度，且体积小、功耗低、成本低。
基本信息
专利标题 ：
一种单热源十字流式微机械双轴薄膜陀螺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021189037.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-24
授权号 ：
CN212082391U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
李美樱朴林华朴然李备王灯山
申请人 ：
北京信息科技大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清河小营东路12号
代理机构 ：
北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张宇锋
优先权 ：
CN202021189037.0
主分类号 ：
G01C19/58
IPC分类号 ：
G01C19/58
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/58
不带有运动部件的转动敏感装置
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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