单热源对流式微机械Z轴薄膜陀螺

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摘要

本实用新型公开了一种单热源对流式微机械Z轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“一”字型结构的两根加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一根加热器和一对热敏电阻构成一个测量单元；两个测量单元中间设有正方形的隔离电阻；两根加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，可实现平面Z轴角速度的测量，具有很高的集成度。而且敏感层的下表面刻蚀出“十”字形凹槽，散热性好。基于这些优点它可以广泛应用于平台稳定系统,如照相机、摄像机等电子产品的稳定系统,所以其市场前景十分光明。

基本信息

专利标题：

单热源对流式微机械Z轴薄膜陀螺

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021188093.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-24

授权号：

CN212082381U

授权日：

2020-12-04

发明人：

李备朴林华朴然李美樱王灯山

申请人：

北京信息科技大学

申请人地址：

北京市海淀区清河小营东路12号

代理机构：

北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

张宇锋

优先权：

CN202021188093.2

主分类号：

G01C19/58

IPC分类号：

G01C19/58