一种节能型半导体加工用石英片抛光设备
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摘要
一种节能型半导体加工用石英片抛光设备，包括工作台、L形支架、抛光支架、清洁箱和推杆，所述工作台的顶部通过螺栓连接有L形支架，所述L形支架顶部的内侧设置有滑轨A，所述抛光支架通过顶部滑块与滑轨A滑动连接，所述抛光支架内的底部设置有抛光电机，所述抛光电机通过驱动轴连接有抛光轮，所述L形支架的内侧位于抛光支架一侧通过螺栓连接有切割支架，所述切割支架内的一侧设置有切割电机，所述切割电机通过驱动轴连接有切刀，所述L形支架的一侧位于抛光支架的底部设置有抛光台，所述抛光台的顶部设置有抛光槽，所述工作台的表面位于抛光台的两侧设置有滑轨B。本实用新型功能多样，使用方便，能够对石英片进行抛光切割清洗处理。
基本信息
专利标题 ：
一种节能型半导体加工用石英片抛光设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021297103.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-06
授权号 ：
CN213411561U
授权日 ：
2021-06-11
发明人 ：
孔凡波孔涛
申请人 ：
连云港源都石英科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省连云港市东海县开发区范埠村
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021297103.6
主分类号 ：
B24B29/02
IPC分类号 ：
B24B29/02 B24B41/06 B24B47/22 B28D1/24 B28D7/04 B28D7/00 F26B21/00 F26B25/18 B08B3/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2021-06-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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