一种真空气室结构及湿胚吸附装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种真空气室结构，包括：真空气室主体，真空气室主体的内部形成有真空腔；真空气室主体的的一个侧壁上设有抽气口，其相对的另一个侧壁上设有泄压口；控制阀组件，控制阀组件包括封堵件、驱动机构；驱动机构用于驱动封堵件直线运动从而在抽真空状态和泄压状态之间转换；当封堵件处于抽真空状态时，封堵件封堵住泄压口，使得抽气口与真空腔连通；当封堵件处于泄压状态时，封堵件封堵住抽气口，使得大气通过泄压口与真空腔连通。本实用新型采用一个控制阀组件就可实现在抽真空状态和泄压状态之间转换，具有结构简单和操作方便的特点。进一步地，它还具有取材加工方便、制作成本低、强度高和拆装及清洗方便的特点。

基本信息

专利标题：

一种真空气室结构及湿胚吸附装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021309311.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-06

授权号：

CN212656051U

授权日：

2021-03-05

发明人：

徐罗申徐允聪

申请人：

徐允聪

申请人地址：

广东省广州市天河区石牌西路海欣街18号1502房

代理机构：

广州智斧知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

罗晶

优先权：

CN202021309311.3

主分类号：

D21J3/00

IPC分类号：

D21J3/00