适于真空室的真空气路结构

授权

摘要

本实用新型公开了适于真空室的真空气路结构，包括分子泵和阀体组件，分子泵的出气口与前级泵的三通管第一管口相连通，阀体组件包括阀体，阀体上开设有主通道，阀体底部设置有低真空规；阀体上部水平开设有进出气通道；阀体的左右两侧交错设置有第一、第二真空电磁阀，阀体上水平设置有进气通道和抽真空通道，抽真空通道出气口的快插接头与三通管第二管口连通。本实用新型结构简单紧凑，将进气通道和抽真空通道集成在阀体组件上，不仅能够快速实现过渡腔室与外界空气连通，使外界气体进入过渡腔室减小负压；还能快速将过渡腔室内的气体抽走，保证真空室的高真空度，满足样品检测需求。

基本信息

专利标题：

适于真空室的真空气路结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920696089.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-11

授权号：

CN209626180U

授权日：

2019-11-12

发明人：

宋家玉蔡克亚刘伟伟李康康张子奇王晓龙刘文钊易玲李闯

申请人：

安图实验仪器（郑州）有限公司

申请人地址：

河南省郑州市经济技术开发区第十五大街199号

代理机构：

郑州异开专利事务所(普通合伙)

代理人：

韩鹏程

优先权：

CN201920696089.8

主分类号：

H01J49/24

IPC分类号：

H01J49/24