一种可调式单晶炉中轴盖
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要

本实用新型涉及单晶炉设备技术领域,具体为一种可调式单晶炉中轴盖,包括加热器、坩埚、端盖组件和石墨电极,所述端盖组件包括第一端盖,所述第一端盖的内部固定连接有隔热层,所述第一端盖的下表面通过沉头螺栓固定连接有第二端盖,所述第二端盖的下表面固定连接有橡胶垫,所述第一端盖的下表面中心处固定连接有连接轴,所述连接轴的外部固定连接有密封塞,所述连接轴的内部设置有螺纹孔,所述端盖组件的上方活动连接有坩埚,所述端盖组件的下方固定连接有中轴组件。本实用新型通过优化端盖组件,使其能够起到对底部管道的防护作用,通过上下端盖和密封塞实现对其的密封防护效果,从而减少清洗炉体时,导致的灰尘进入管道。

基本信息
专利标题 :
一种可调式单晶炉中轴盖
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021354972.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-11
授权号 :
CN213232568U
授权日 :
2021-05-18
发明人 :
李茂欣
申请人 :
上海磐盟电子材料有限公司
申请人地址 :
上海市松江区长塔路399号2幢
代理机构 :
北京化育知识产权代理有限公司
代理人 :
尹均利
优先权 :
CN202021354972.8
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2022-01-21 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : C30B 15/00
登记号 : Y2022310000003
登记生效日 : 20220105
出质人 : 上海磐盟电子材料有限公司
质权人 : 中国农业银行股份有限公司上海闵行支行
实用新型名称 : 一种可调式单晶炉中轴盖
申请日 : 20200711
授权公告日 : 20210518
2021-05-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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