本实用新型公开了一种低温低真空烘干设备，包括至少一组水浴加热机构、抽真空装置以及设置于传输系统上方的盛药盘转移机构；所述盛药盘转移机构将传输系统上摆放的盛药盘抓取移送至抽真空装置；所述水浴加热机构可在所述抽真空装置上方垂直往复移动并与盛药盘的上部密封连接，所述水浴加热机构加热空气经过盛药盘进行烘干作业；所述抽真空装置与盛药盘的底部相连通并密封连接，所述抽真空装置将盛药盘内的热空气抽空。本实用新型通过热水加热药盘上方的热水包，间接加热药盘上方的空气，利用热空气与抽真空装置相配合，热空气与药品的接触实现快速烘干，不仅实现了起爆药的低温安全干燥，还能提高起爆药的干燥效率。