一种夹取结构
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摘要
本实用新型提供一种夹取结构，包括：连接座；第一机械臂和第二机械臂间隔开平行设置，第一机械臂的一端与连接座的第一端相连，第二机械臂的一端与连接座的第二端相连；每组夹取爪包括第一夹爪和第二夹爪，第一夹爪的第一端与第一机械臂相连，第二夹爪的第一端与第二机械臂相连；第一夹爪的第二端设有第一卡槽，第二夹爪的第二端设有第二卡槽，每组夹取爪卡取晶圆时，晶圆的第一区域置于第一夹爪的第一卡槽中，晶圆的第二区域置于第二夹爪的第二卡槽中。利用该取结构夹取过程中，不需要气缸驱动夹爪来夹取，单片晶圆位置出现偏差未能夹取时，不会影响其他晶圆的位置和状态，避免其他晶圆倾倒及晶圆之间相互刮伤，提高晶圆的夹取效率。
基本信息
专利标题 ：
一种夹取结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021403945.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-16
授权号 ：
CN212635774U
授权日 ：
2021-03-02
发明人 ：
王建新
申请人 ：
西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
胡影
优先权 ：
CN202021403945.5
主分类号 ：
B25J15/00
IPC分类号 ：
B25J15/00 B25J15/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
法律状态
2021-03-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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