带有震动与加热功能的浸泡式硅片转运车
授权
摘要
带有震动与加热功能的浸泡式硅片转运车，涉及单多晶硅片清洗技术领域，车厢内分为两部分，两部分均有相对的倾斜支架，形成上宽下窄的梯形槽；梯形槽用于放置硅片并注入浸泡液；倾斜支架上设置有缓冲硅胶垫；两边的倾斜支架下方设置有小功率交流加热管以及温度监控模块，中部背靠背放置的两个倾斜支架下方，设置有大功率交流加热管以及温度监控模块；车厢中部下方，设置有直流偏心轮震动马达以及带有直流稳压电源模块的箱体式控制柜。本实用新型的有益效果是：通过转运车的震动和加热功能，可以有效缩短硅片的浸泡时间；带有硅胶缓冲垫的倾斜支架可以有效避免硅片在浸泡过程中因为挤压和震动因素产生损耗，提高硅片返工处理的效率和良率。
基本信息
专利标题 ：
带有震动与加热功能的浸泡式硅片转运车
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021438562.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-21
授权号 ：
CN212676232U
授权日 ：
2021-03-09
发明人 ：
马杰桓黄雯雯刘瑞柱郭宽新刘郭军方圆
申请人 ：
河南盛达光伏科技有限公司
申请人地址 ：
河南省安阳市滑县文明路与黄河路交叉口西米200米
代理机构 ：
安阳市智浩专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨红军
优先权 ：
CN202021438562.1
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/67 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-03-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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