一种硅片加热装置及方法
实质审查的生效
摘要
本申请公开了一种硅片加热装置及方法，属于太阳能电池技术领域。包括：壳体，壳体形成密封腔，密封腔用于放置载体，载体装载有硅片；气流组件，气流组件向密封腔内通入气体，气流组件设置于密封腔的内壁上；加热组件，加热组件在密封腔内释放热量，加热组件与气流组件连接。将载体送入密封腔，降低所述密封腔内的压强，通过加热组件对密封腔加热，并通过气流组件向密封腔内排入气体，提高密封腔内的热量传导。在本申请实施例中，当装载有硅片的载体进入密封腔后，气流组件和加热组件能够同时工作，增强了密封腔内的热传导效率，具有使得对流在载体周围的热量更均匀、加热效率更高的有益效果。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片加热装置及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114388654A
申请号 ：
CN202111519574.6
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵继财林健李鹏王建波李绍鹏焦龙生肖政
申请人 ：
泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市海陵区兴泰南路268号
代理机构 ：
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵娟
优先权 ：
CN202111519574.6
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20211213
申请日 : 20211213
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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