一种硅片化学镀金用加热槽
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片化学镀金用加热槽，包括加热槽主体，加热槽主体的顶部卡合连接有加热槽顶盖，加热槽顶盖的一端从左到右依次开设有第一通孔、第二通孔和第三通孔，加热槽主体的一端自上而下依次固定安装有液位继电器、温控仪和交流接触器，液位继电器的一侧固定安装有高触点接线柱和低触点接线柱，高触点接线柱与第一电极导线的一端缠绕连接，本实用新型一种硅片化学镀金用加热槽，通过液位继电器等结构，可以对加热槽内部溶液的液面位置进行限位，在加热槽内部缺少溶液的状态时，自动断开加热器，从而避免加热槽空烧以至于损害，甚至发生火灾。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片化学镀金用加热槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021588750.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-04
授权号 ：
CN212992816U
授权日 ：
2021-04-16
发明人 ：
戴建军
申请人 ：
南通皋鑫电子股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市如皋市如城中山西路82号
代理机构 ：
北京汇信合知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙腾
优先权 ：
CN202021588750.2
主分类号 ：
H05K7/20
IPC分类号 ：
H05K7/20 C23C18/42
法律状态
2021-04-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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