为了解决现有上位机械手的运动机构在清洗槽的上方容易被腐蚀性气体腐蚀的问题，本实用新型提出下沉式硅片化学处理机械手，其涉及一种硅原料清洗设备上的机械手。它包括吊钩、横向臂、升降臂及其升降机构、吊钩开合机构、机械手平移机构；其中一根横向臂上设有前吊钩和后吊钩，吊钩连接在横向臂上呈下垂状，横向臂的支点端连接着下垂的升降臂，两根升降臂对应连接两根横向臂，两根横向臂上对应连接四个吊钩；升降臂下端部连接在升降机构上；两升降臂之间连接着所述吊钩开合机构；升降臂的升降机构安装在机械手平移机构上。相比现有技术，本机械手可防化学气体对机件的腐蚀，增加机件的寿命，进而增加整个设备的稳定性和减小设备的故障发生率。