导轨装置、机械手和硅片处理装置

授权

摘要

本实用新型提供了一种导轨装置、机械手和硅片处理装置，导轨装置包括第一固定组件和第一滑动组件，其中，第一滑动组件适于在第一固定组件上滑动，第一滑动组件连接机械手，第一滑动组件连接第一固定组件，第一固定组件遮挡第一滑动组件，以阻止来自机械手中被加工物对第一滑动组件的干扰。本实用新型通过改变机械手行走导向，改变第一滑动组件的连接位置，使第一滑动组件设置在第一固定组件的下方，第一固定组件遮挡第一滑动组件，通过上述设置，避免第一滑动组件直接接触到机械手运行过程中溅落的药液，使得第一滑动组件受到保护，延长设备维修周期，降低生产成本。

基本信息

专利标题：

导轨装置、机械手和硅片处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021167785.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-22

授权号：

CN212635727U

授权日：

2021-03-02

发明人：

左国军余兴梅万红朝

申请人：

常州捷佳创精密机械有限公司

申请人地址：

江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

尚志峰

优先权：

CN202021167785.9

主分类号：

B25J5/02

IPC分类号：

B25J5/02 H01L21/687