一种硅片夹取机械手臂和硅片清洗装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，且公开了一种硅片夹取机械手臂和硅片清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱上设置有箱盖，所述清洗箱的内部设置有多个等距离排列第一固定柱和第三固定柱，所述清洗箱的一侧壁固定连通有流水口，多个所述第一固定柱远离清洗箱的一侧均设置有第二固定柱，多个所述第二固定柱和第一固定柱之间均设置有第一伸缩柱，所述第二固定柱远离第一伸缩柱的一端固定连接有第一固定块，所述第一固定块的上侧设置有第一连接块。该硅片夹取机械手臂和硅片清洗装置，通过设置的伸缩柱、复位弹簧和压块，达到了对硅片大小进行调节的效果，通过设置的海绵层，达到了对硅片保护的效果。

基本信息

专利标题：

一种硅片夹取机械手臂和硅片清洗装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022074643.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-21

授权号：

CN213887297U

授权日：

2021-08-06

发明人：

郭丽娟

申请人：

郭丽娟

申请人地址：

河南省郑州市郑东新区商都路与心怡路交叉口正岩大厦1511号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202022074643.4

主分类号：

B08B3/02

IPC分类号：

B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67