晶舟夹取手臂位移驱动机构

专利权的终止

摘要

为了解决动位移驱动机构造价高、晶舟夹取手臂位移不稳、精度低的技术问题，本实用新型提供了一种包括平移驱动机构、升降驱动机构、旋转驱动机构和连接杆的晶舟夹取手臂位移驱动机构。采用伺服电机和齿轮齿条的组合驱动晶舟夹取手臂平移，采用伺服电机和滚珠丝杆副的组合驱动晶舟夹取手臂升降，采用伺服电机驱动旋转，不仅制造成本低，而且平移和升降配合直线导轨进行导向，提高了晶舟夹取手臂的位移精度，降低了运行噪音。

基本信息

专利标题：

晶舟夹取手臂位移驱动机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920590237.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-26

授权号：

CN209544303U

授权日：

2019-10-25

发明人：

王静强徐福兴黄锡钦

申请人：

昆山基侑电子科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920590237.8

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687 H01L21/677