一种晶舟夹取装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶舟夹取装置，固定座，第一夹具、第二夹具、往复运动机构、电机；所述第二夹具设置于固定座上，所述第一夹具包括两个平行设置的第一夹臂，第二夹具包含两个平行设置的第二夹臂，所述第一夹臂滑动连接于第二夹臂侧面上，并与所述往复运动机构相连；所述电机固定在固定座上且转动端与所述往复运动机构相连接，用于为所述往复运动机构提供动力，且使所述第一夹具在所述第二夹具侧边上下往复运动；固定座用于与夹取控制器上的轴杆连接。上述技术方案提供了一种晶舟夹取装置，其通过第一夹具、第二夹具以及往复运动机构的相互配合，实现一台设备可以抓取多种尺寸的晶舟。
基本信息
专利标题 ：
一种晶舟夹取装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922120376.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-02
授权号 ：
CN210668317U
授权日 ：
2020-06-02
发明人 ：
王嘉伟徐智文王志伟
申请人 ：
福建省福联集成电路有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号
代理机构 ：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐剑兵
优先权 ：
CN201922120376.7
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-06-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
