晶舟夹取装置和机械手
授权
摘要

本实用新型公开了一种晶舟夹取装置和机械手,涉及半导体制造技术领域。晶舟夹取装置,具体包括安装于丝杆步进电机丝杆上的丝杆螺母,丝杆螺母上设有升降板,升降板上连接有连接板,升降联动轴连接于连接板并与丝杆的侧壁相垂直,两根摆动轴与升降联动轴平行设置且均布于升降联动轴的两侧,两个传动板均套接于升降联动轴上,两个传动板远离升降联动轴的一端分别连接于不同的摆动轴;至少一对夹持组件分别连接于两根摆动轴上,夹持组件包括连接于摆动轴的夹持固定板和与夹持固定板可拆卸连接的环状夹持部。旨在解决现有转轴晶舟夹取机构定位过程复杂,容易出现部分脱钩,导致晶舟固定不稳的技术问题。

基本信息
专利标题 :
晶舟夹取装置和机械手
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122443656.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-11
授权号 :
CN216189096U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
左国军申斌成旭谈丽文
申请人 :
创微微电子(常州)有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 :
深圳市康弘知识产权代理有限公司
代理人 :
胡朝阳
优先权 :
CN202122443656.9
主分类号 :
B65G47/90
IPC分类号 :
B65G47/90  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置;使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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