晶舟夹取机构的位移驱动装置

专利权的终止

摘要

为了解决动晶舟夹取机构位移精度低的技术问题，本实用新型提供了一种包括平移驱动机构、升降驱动机构、连接杆和一对拨杆开关的晶舟夹取机构的位移驱动装置，平移驱动机构由伺服电机一、齿条、齿轮和两条直线滑轨一构成；升降驱动机构由基座、伺服电机二、滚珠丝杆副和两条直线滑轨二构成；一对拨杆开关安装在晶舟夹取机构的一对夹持臂上，拨杆开关的拨杆向下延伸至所述夹持臂的下方。伺服电机、齿轮齿条、滚珠丝杆副的组合驱动晶舟夹取机构升降和平移，配合直线导轨导向，提高晶舟夹取机构的位移精度；同时，两个拨杆开关探测晶舟的位置，PLC根据两个拨杆开关的打开情况及时修正晶舟夹取机构的位置。

基本信息

专利标题：

晶舟夹取机构的位移驱动装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920590662.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-26

授权号：

CN209922397U

授权日：

2020-01-10

发明人：

王静强黄锡钦徐福兴

申请人：

昆山基侑电子科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市周市镇黄浦江北路333号A-1厂房

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920590662.7

主分类号：

B65G47/90

IPC分类号：

B65G47/90