一种夹取晶圆盒的机械手装置

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摘要

本实用新型公开了一种夹取晶圆盒的机械手装置，包括对称设置的夹持臂、旋转杆以及旋转制动组件和传动位移组件，两夹持臂将晶圆盒两侧的盒边夹持牢固，并由锁紧块将其与旋转杆固连，旋转制动组件包括外壳、前挡板、前轴座、前轴承、旋转块以及后轴承、后轴座，外壳内固定设置有顶伸气缸，其顶杆固连有倾斜块，倾斜块中部设置有U形孔，U形孔与旋转块头部设置的圆柱型拨动杆配合使旋转杆实现周向转动，传动位移组件包括Z轴滑移组件和X轴传动组件，该夹取晶圆盒的机械手装置利用X轴传动组件和Z轴滑移组件构成的双轴联动动作，由电机和气缸的动作控制夹持臂和旋转杆共同作用将晶圆盒抬升移送，自动化程度高，实用方便，适用性强。

基本信息

专利标题：

一种夹取晶圆盒的机械手装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920702566.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-16

授权号：

CN209785901U

授权日：

2019-12-13

发明人：

杨仕品

申请人：

昆山市智程自动化设备有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市玉山镇玉城中路58号

代理机构：

苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

朱丹

优先权：

CN201920702566.7

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677