晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手,包括固定在升降轴上的旋动组件、旋转杆、轴承定位座、缓冲组件和取放晶圆片花篮的夹持组件,以及报警闪光灯和触动传感片,旋动组件包括顶推气缸、斜面滑块、左右对称布置的旋转座、销轴、滚动圆球,旋转杆两端均与轴承定位座配合定位,旋转杆一端与旋动组件固连,另一端通过缓冲组件与夹爪连接,夹爪包括锁紧块、紧固螺母、夹杆和夹持臂,紧固螺母外部还固连有触动传感片,该机械手用紧固螺母对夹持臂进行二次紧固,同时配合缓冲组件固定锁死在旋转杆上,对旋转杆与锁紧块之间进行二次锁紧,触动传感片会拨动报警闪光灯里的开关,发出闪光报警,起到预防并报警的效果。

基本信息
专利标题 :
晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114267610A
申请号 :
CN202111449498.6
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2021-12-01
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
华斌李文轩蔡超王大权
申请人 :
智程半导体设备科技(昆山)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
代理机构 :
苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
朱丹
优先权 :
CN202111449498.6
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L21/677  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20211201
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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