晶圆匣防脱落装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种晶圆匣防脱落装置，属于晶圆检测技术领域，其包括晶圆匣，所述晶圆匣承放在中测台上，所述中测台一侧设置有用于承放晶圆匣的升降台，其特征在于：所述晶圆匣内壁沿高度方向开设有若干用于卡合晶圆的托槽，所述晶圆匣一侧设置有连接晶圆匣两侧内壁的连接杆，所述升降台顶壁设置有限位块，所述连接杆朝向限位块的一侧设置有对中块，所述限位块背离升降台的一侧开设有供对中块插合的对中槽，所述晶圆匣的两侧外壁均设置有与升降台连接的防脱装置。本实用新型具有在晶圆匣进行承放时不易出现脱落和倾倒的效果。
基本信息
专利标题 ：
晶圆匣防脱落装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922412427.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN211627633U
授权日 ：
2020-10-02
发明人 ：
孙军潘亮良
申请人 ：
无锡新微阳科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922412427.3
主分类号 ：
G01R1/04
IPC分类号 ：
G01R1/04 G01R1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳；支承构件；端子装置
法律状态
2020-10-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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