晶圆匣防脱落装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种晶圆匣防脱落装置,属于晶圆检测技术领域,其包括晶圆匣,所述晶圆匣承放在中测台上,所述中测台一侧设置有用于承放晶圆匣的升降台,其特征在于:所述晶圆匣内壁沿高度方向开设有若干用于卡合晶圆的托槽,所述晶圆匣一侧设置有连接晶圆匣两侧内壁的连接杆,所述升降台顶壁设置有限位块,所述连接杆朝向限位块的一侧设置有对中块,所述限位块背离升降台的一侧开设有供对中块插合的对中槽,所述晶圆匣的两侧外壁均设置有与升降台连接的防脱装置。本实用新型具有在晶圆匣进行承放时不易出现脱落和倾倒的效果。
基本信息
专利标题 :
晶圆匣防脱落装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922412427.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-27
授权号 :
CN211627633U
授权日 :
2020-10-02
发明人 :
孙军潘亮良
申请人 :
无锡新微阳科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201922412427.3
主分类号 :
G01R1/04
IPC分类号 :
G01R1/04 G01R1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳;支承构件;端子装置
法律状态
2020-10-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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