本实用新型提供一种开放式晶圆匣。开放式晶圆匣包括：匣体，所述匣体内形成有多个用于容纳晶圆的隔层，所述匣体具有上底面、下底面以及位于所述上底面和所述下底面之间的侧面，所述隔层沿由所述上底面到所述下底面的方向排布，所述侧面设置有开口，所述隔层均暴露于所述开口；辅助固定件，包括与所述隔层一一对应的多个固定部，所述辅助固定件至少能够在第一固定位置与所述匣体可拆卸连接，其中，所述第一固定位置位于所述匣体的开口处，且所述辅助固定件位于所述第一固定位置时，所述固定部分别位于相对应的所述隔层内。本实用新型实施例降低了晶圆晃动和脱落的风险，提高了使用的便利性。