一种开放式晶圆盒用夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种开放式晶圆盒用夹具，包括晶圆盒、盒用夹具，盒用夹具连接外部定位装置，且盒用夹具用于夹紧晶圆盒，晶圆盒用于放置晶圆。盒用夹具包括夹具框架、智能夹爪、到位检测压紧机构、视觉系统，夹具框架用于连接各个部件，智能夹爪可以通过位置和力双重控制，实现对晶圆盒安全夹取。视觉系统可以控制外部定位装置实现对晶圆盒精确的夹取定位。到位检测压紧机构工作工程中可以起到外部定位装置到位停止控制，又可以压紧晶圆盒上边沿，起到安全精确的夹取辅助作用。本实用新型的开放式晶圆盒用夹具无需人手操作，减少的产品损坏，降低了成本，定位精度高，夹取晶圆盒稳定。
基本信息
专利标题 ：
一种开放式晶圆盒用夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922338793.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-24
授权号 ：
CN211895047U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
叶欣汪辉张江水吴涛
申请人 ：
杭州中为光电技术有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区钱江经济开发区龙船坞路96号
代理机构 ：
浙江英普律师事务所
代理人 ：
陈小良
优先权 ：
CN201922338793.9
主分类号 ：
B65G47/90
IPC分类号 ：
B65G47/90
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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