一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构

授权

摘要

本实用新型公开了一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构，所述夹取机械手机构用于夹取绷膜环晶圆检查机上的晶圆，其特征在于：夹取机械手机构包括滑行平台、夹取平台和夹取机械手，所述夹取平台底部固定有滑块与滑行平台的第一滑轨进行配合，所述滑行平台前端设有限位装置，所述夹取机械手包括上夹片、下夹片和安装滑座。本实用新型用于绷膜环晶圆检查机上晶圆的夹取和存放机构。

基本信息

专利标题：

一种绷膜环晶圆自动夹取机械手机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021688477.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-14

授权号：

CN213054886U

授权日：

2021-04-27

发明人：

田金泉李涛王广禄陈曦柯华榕

申请人：

憬承光电科技（厦门）有限公司

申请人地址：

福建省厦门市厦门火炬高新区（翔安）产业区翔虹路33号105室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021688477.0

主分类号：

B25J15/08

IPC分类号：

B25J15/08 B25J15/02 B25J5/02 H01L21/687 H01L21/683