一种晶舟操控装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开的一种晶舟操控装置，通过夹紧晶舟顶盖来搬运晶舟，其包括操控盒及分别设置在该操控盒两侧的两机械手，所述两机械手均呈“ㄑ”状，包括上部的主动杆、及与该主动杆固定连接的夹持杆，所述操控装置具有一预备状态和一夹紧状态；所述夹持杆的末端向该操控盒的方向伸出一支撑爪。支撑爪在夹紧状态时几乎呈水平方向设置，紧紧扣住晶舟顶盖，晶舟顶盖被卡在夹持杆与支撑爪的交接处，从而增加了晶舟操控装置的稳定性，即使有晃动，晶舟也不会轻易脱落。

基本信息

专利标题：

一种晶舟操控装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720066562.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-01-23

授权号：

CN201017867Y

授权日：

2008-02-06

发明人：

吴永强陆一峰顾佳玉陈造卫

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200720066562.1

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687 H01L21/677 B65G47/90

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/683

用于支承或夹紧的

H01L21/687

使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子

法律状态

2017-02-22 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101705412072
IPC(主分类) : H01L 21/687
专利号 : ZL2007200665621
申请日 : 20070123
授权公告日 : 20080206
终止日期 : 无

2013-04-10 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101562204408
IPC(主分类) : H01L 21/687
专利号 : ZL2007200665621
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130318

2008-02-06 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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