本实用新型涉及硅片运输技术领域，具体涉及一种硅片夹取装置。本实用新型包括安装座，安装座上设置有轨道，轨道上对称设置有滑块，安装座上位于所述轨道两端设置有导轮，导轮上设置有传动带，滑块上设置有与传动带啮合的啮合板，安装座上设置有驱动导轮旋转的电机，滑块上设置有第一安装板和第二安装板，第一安装板和第二安装板上分别设置有第一吸盘和第二吸盘，第一吸盘和第二吸盘上均设置有气源连接口。本实用新型结构合理、简单，操作便捷，将外部气源与气源连接口进行连接，通过第一吸盘和第二吸盘对硅片进行吸取，电机驱动滑块在轨道上进行移动，最后将硅片放置在石英舟中，避免了夹爪对硅片的损坏，大大的降低了生产的成本。