一种用于坩埚的监控设备
授权
摘要
本实用新型公布一种用于坩埚的监控设备,所述监控设备设置在坩埚处,所述坩埚用于装填蒸镀材料,所述监控设备包括导线、导电浮块和浮块衔接装置;所述浮块衔接装置具有间隔的两端子,所述浮块衔接装置的两端子分别与一所述导线连接,所述导线延伸到坩埚外;所述导电浮块用于浮于所述蒸镀材料上;所述浮块衔接装置设置在坩埚的底部,所述导电浮块用于与所述浮块衔接装置接触连接后使所述浮块衔接装置的两端连通。上述技术方案用可以对工作人员起到预警的作用,工作人员可以有序地进行补充蒸镀材料或者停止蒸镀,减少人力浪费的同时提高了坩埚的稼动。监控设备保障了蒸镀速率的稳定,避免基板上的膜质出现异常,提高产品的良率。
基本信息
专利标题 :
一种用于坩埚的监控设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021468822.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-23
授权号 :
CN212747994U
授权日 :
2021-03-19
发明人 :
温质康林佳龙乔小平
申请人 :
福建华佳彩有限公司
申请人地址 :
福建省莆田市涵江区涵中西路1号
代理机构 :
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
林祥翔
优先权 :
CN202021468822.X
主分类号 :
G01F23/70
IPC分类号 :
G01F23/70
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量;按容积进行测量
G01F23/00
液体液面或流动的固态材料料面的指示或测量,例如,用容积指示,应用报警装置的指示
G01F23/30
通过浮标
G01F23/64
利用自由浮动式的
G01F23/68
利用电气操作的指示装置
G01F23/70
仅在不连续的点上检测液面变化的
法律状态
2021-03-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载