半导体机台的移载装置和移载装置组件
授权
摘要
本申请公开一种半导体机台的移载装置和移载装置组件,所公开的移载装置包括:支架,支架在第一方向上依次设置有多个第一连接结构,第一方向为移载装置的高度方向;承载架,承载架设置于支架上,承载架设置有第二连接结构,第二连接结构与多个第一连接结构中的至少一者可拆卸连接,承载架具有承载面,用于承载半导体机台,且承载面与地面之间的高度可调节;变向轮机构,变向轮机构设置于支架上,承载面位于变向轮机构的一侧。上述方案能够解决立式炉机不方便搬运的问题。
基本信息
专利标题 :
半导体机台的移载装置和移载装置组件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021494078.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-24
授权号 :
CN212921015U
授权日 :
2021-04-09
发明人 :
闫士泉
申请人 :
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 :
北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 :
北京国昊天诚知识产权代理有限公司
代理人 :
施敬勃
优先权 :
CN202021494078.0
主分类号 :
B60B33/04
IPC分类号 :
B60B33/04
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B60
一般车辆
B60B
车轮;脚轮;用于脚轮或车轮的车轴;车轮附着力的提高
B60B33/00
一般脚轮
B60B33/04
可调的
法律状态
2021-04-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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