一种蒸镀源
授权
摘要
本实用新型涉及一种蒸镀源，包括本体、填料腔和喷嘴，所述填料腔设置在所述本体内，用于放置蒸镀材料，所述喷嘴设置在所述填料腔的上方的本体处并与所述填料腔连通，还包括加热搅拌装置，所述加热搅拌装置设置在所述填料腔中，所述加热搅拌装置包括电机、加热组件和加热组件保护壳；所述电机设置在填料腔下方的本体处，所述电机的转轴与所述加热组件的底部连接，所述加热组件设置在所述填料腔中；所述加热组件保护壳设置在加热组件的外壁上，加热组件保护壳为突出结构，所述加热组件用于加热填料腔内的蒸镀材料。上述技术方案将加热组件及加热组件外壳与电机进行配合，使蒸镀材料均匀受热，防止蒸镀材料的局部过热导致喷发。
基本信息
专利标题 ：
一种蒸镀源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021505064.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-27
授权号 ：
CN212864943U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
郑沂林志斌
申请人 ：
福建华佳彩有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区涵中西路1号
代理机构 ：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
林祥翔
优先权 ：
CN202021505064.4
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
