本实用新型公开了一种硅粉真空干燥设备，包括干燥罐，所述干燥罐的侧壁分为内外两层，并且两层之间设有加热腔，所述干燥罐的内部顶端开有加料口，加料口通过电磁阀A连接在进料管上，所述干燥罐的内部顶端左侧开有排气孔，排气孔内连接有单向阀的入口端，所述干燥罐的左侧设有负压泵，单向阀的出口端通过排气管连接在负压泵上，所述干燥罐的底部开有排料口，排料口内连接有电磁阀B，所述干燥罐的右侧壁底端开有进气孔，进气孔内连接有氮气管道，氮气管道上设有流量调节阀A，所述干燥罐的左侧并且在负压泵的后方设有配电箱，本实用新型能够快速将硅粉干燥，并且能够保证硅粉在干燥过程中不易氧化，保持原有的特性。