本实用新型提供了一种克服空间位置效应的剥蚀装置，包括样品台、激光头以及剥蚀池，剥蚀池通过连接杆固定于激光头的正下方，剥蚀池为中空的结构，剥蚀池顶部开口处密封安装有供激光穿过的透明窗，其内部腔室由隔环分为内外两层，内层为剥蚀腔，外层为真空腔，剥蚀腔的两侧分别设置有进气管和出气管，真空腔的侧壁上设置有抽真空口并与真空发生器相连接；所述样品台安装于三轴位移平台上，样品台顶面为平整光滑的平面，顶面上分布有用于放置靶样的凹槽。该剥蚀装置利用真空实现对剥蚀池的密封，能够保证剥蚀池整体的密封性；最重要的是，该多靶位剥蚀装置能够克服激光微区原位测试中空间位置效应。