一种多样靶同位置激光剥蚀的小体积剥蚀池及工作方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及化学分析设备技术领域,具体公开了一种多样靶同位置激光剥蚀的小体积剥蚀池及工作方法,包括剥蚀室、样品室和激光系统,剥蚀室包括剥蚀罩壳、密封室和密封隔板,密封室采用梭形柱结构,密封室固定在剥蚀罩壳的内部,剥蚀室的底部设有密封隔板,密封隔板的中部设有样品孔位,用于样品进入密封室;样品室设有样品室壳体、旋转样靶支架和多个样靶,样品室壳体顶部设有插槽,样品室壳体通过插槽连接剥蚀罩壳底部,样靶上放置样品,样靶安装在旋转样靶支架上,用于旋转样靶支架推动样靶上的样品进入样品孔位;本发明设计的样靶在剥蚀室内相同位置,使粒子传输效率基本相同,从而降低位置效应对同位素组成测定结果准确度和精密度的影响。
基本信息
专利标题 :
一种多样靶同位置激光剥蚀的小体积剥蚀池及工作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114544746A
申请号 :
CN202210315316.4
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-03-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
周长祥李胜虎孙雨沁张晨西徐珺
申请人 :
山东省地质科学研究院
申请人地址 :
山东省济南市历下区历山路52号
代理机构 :
济南舜科知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
徐娟
优先权 :
CN202210315316.4
主分类号 :
G01N27/626
IPC分类号 :
G01N27/626 G01N1/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/626
应用加热电离气体
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/626
申请日 : 20220328
申请日 : 20220328
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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