一种用于激光剥蚀系统的防起雾装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于激光剥蚀系统的防起雾装置，包括环状结构件，所述环状结构件的内部具有一沿其周向开设的气体流通槽，所述环状结构件的底部开设有多个出气孔，所述出气孔与气体流通槽连通；所述环状结构件具有一进气口，所述进气口与气体流通槽连通。本实用新型结构简单，操作方便，在实验过程中通过出气孔不断地吹扫样品池的上部玻璃表面，防止因玻璃起雾而影响剥蚀效果；本实用新型与激光剥蚀系统自有的气源连接，无需人工操作，轻了实验人员的工作量。
基本信息
专利标题 ：
一种用于激光剥蚀系统的防起雾装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921852533.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-31
授权号 ：
CN210893887U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
任德馨刘朋陈微言胡志刚
申请人 ：
上海凯来仪器有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号C楼
代理机构 ：
深圳市创富知识产权代理有限公司
代理人 ：
曾敬
优先权 ：
CN201921852533.7
主分类号 ：
G01N1/42
IPC分类号 ：
G01N1/42 G01N27/62
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样；制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
G01N1/42
低温样品处理，例如冰冻固定
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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