一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池及其检测方法
授权
摘要
本发明提供一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池及其检测方法，包括：顶部具有开口且壳身部分设有用以分别连接气嘴和穿过导线的开孔的壳体；能够封住所述开口且允许激光剥蚀系统发出的激光穿透的顶盖；将所述壳体内的样品升温至熔融状态的加热系统。本发明能即时反映室温至高温状态下样品熔融、结晶，形变等状态、提供熔融温度、结晶温度、结晶时间等参数；并可以实时对样品进行剥蚀分析，表征高温下样品中相应元素迁移变化的过程。
基本信息
专利标题 ：
一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池及其检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110196275A
申请号 ：
CN201910407879.4
公开（公告）日 ：
2019-09-03
申请日 ：
2019-05-15
授权号 ：
CN110196275B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
陈奕睿潘秀红郭琳倩李青张国霞汪正邓伟杰陈锟艾飞
申请人 ：
中国科学院上海硅酸盐研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区定西路1295号
代理机构 ：
上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹芳玲
优先权 ：
CN201910407879.4
主分类号 ：
G01N27/62
IPC分类号 ：
G01N27/62 H01J49/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/62
通过测试气体的电离，例如气溶胶；通过测试放电，例如阴极发射
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2019-09-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/62
申请日 : 20190515
申请日 : 20190515
2019-09-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
