用于激光剥蚀池的盖体、激光剥蚀装置
公开
摘要
一种用于激光剥蚀池的盖体，该盖体包括：主体部，被构造成可转动地密封覆盖激光剥蚀池的开口，包括与激光剥蚀池的开口结合的外边缘，并设有第一通孔；以及窗口组件，设置在盖体的第一通孔中并包括氟化钙玻璃片，激光透过氟化钙玻璃片照射到激光剥蚀池内，以实现对设置在激光剥蚀池内的目标的剥蚀；其中，氟化钙玻璃片在垂直于由开口限定的平面的方向上的投影位于开口内并至少覆盖开口的几何中心到开口的任意内边缘之间的区域。
基本信息
专利标题 ：
用于激光剥蚀池的盖体、激光剥蚀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114609229A
申请号 ：
CN202210250255.8
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
侯振辉
申请人 ：
中国科学技术大学
申请人地址 ：
安徽省合肥市包河区金寨路96号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
孙蕾
优先权 ：
CN202210250255.8
主分类号 ：
G01N27/62
IPC分类号 ：
G01N27/62 G01N1/44
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/62
通过测试气体的电离，例如气溶胶；通过测试放电，例如阴极发射
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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