适用于真空环境加工的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种适用于真空环境加工的装置，包括：壳体，所述壳体内具有工作腔；中间层，所述中间层设置于所述壳体内；调节组件，用于调节所述中间层的导热系数。通过调节组件调节中间层的导热系数，当需要中间层进行隔热保温时，将中间层的导热系数调低，此时中间层可以起到隔热保温的作用，当需要中间层进行快速冷却时，将中间层的导热系数调高，此时中间层可以快速与周边进行热交换，实现快速冷却的目的，可见上述任一实施例既具备隔热保温的性能，又具有快速冷却的性能。
基本信息
专利标题 ：
适用于真空环境加工的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021596686.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-04
授权号 ：
CN212785880U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
王志海邝斌陈金良齐鹏飞赖新暖
申请人 ：
中山瑞科新能源有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市火炬开发区火炬路13号
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
黄春燕
优先权 ：
CN202021596686.2
主分类号 ：
H05B1/00
IPC分类号 ：
H05B1/00 C23C14/00
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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