一种光刻胶涂覆装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种光刻胶涂覆装置，包括箱体以及台板，台板安装于箱体上，所述台板上竖直安装有支板，所述支板上水平安装有横板，所述横板上横向安装有第一丝杆模组，所述第一丝杆模组滑块上安装有第二丝杆模组，所述第二丝杆模组滑块上安装有涂胶组件；本实用新型涉及光刻胶喷涂设备技术领域,本装置在结构方面进行研究改进，通过添加第一丝杆模组进行横向上的移动，通过第二丝杆模组完成纵向上的移动，并且工作中可实现多位置喷涂，使用本装置能够在极大程度上解放人力，并且提高工作效率，促进降低成本，更好的进行光刻胶喷涂工作。

基本信息

专利标题：

一种光刻胶涂覆装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021641383.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-10

授权号：

CN213023933U

授权日：

2021-04-20

发明人：

鹿庆文张锐

申请人：

济南紫源电子有限公司

申请人地址：

山东省济南市章丘市明水吕家村绣源路中段

代理机构：

沈阳天赢专利代理有限公司

代理人：

陈贞

优先权：

CN202021641383.8

主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

G03F7/16